在顯示面板的生產線上,一塊即將完工的屏幕被送入檢測區。當特定波長的紫外光均勻照射其上,肉眼難以察覺的微觀缺陷、膜層均勻性或液晶取向狀態,會通過精密的光學響應顯現出來。
同樣,在半導體晶圓的復雜電路中,深紫外光成為“鷹眼",幫助識別出微米甚至納米級別的圖案缺陷、測量關鍵尺寸。這一切對光源的波長精準性、強度穩定性和光譜純度提出了要求。
現代顯示與半導體制造正邁向更精密、更高效的階段,這使檢測環節面臨嚴峻挑戰。宏觀上行業的技術迭代與微觀上工藝精度的演進,共同將光源的性能推向了關鍵位置。
在顯示領域,隨著OLED、Mini/Micro LED及超高分辨率屏幕的普及,檢測對象從過去的單純像素點,擴展到更為復雜的發光材料、精細膜層和微觀結構。
缺陷尺寸從微米級向亞微米級發展,傳統的寬譜或非特定波長光源已難以提供足夠的對比度和信噪比,偽影干擾、缺陷漏檢風險顯著增加。
半導體行業則沿著摩爾定律繼續前行。當工藝節點進入7納米、5納米甚至更小時,光刻后檢測、關鍵尺寸測量和缺陷復查對光的波長提出了近乎苛刻的要求。尤其是248nm深紫外光,已成為多項核心檢測工藝的“標尺"。
低強度或不穩定的光源會直接導致測量數據波動,使工藝窗口判斷失準,造成巨大的時間和物料損失。
面對上述挑戰,朝日分光REX-250水銀光源的設計理念,便是成為高置信度檢測的“基石"。其核心優勢并非簡單的“高亮度",而是系統性構建的可控光環境。
核心波長優勢顯著:該光源特別強化了 248nm波段的輸出強度。在半導體檢測中,此波長與許多光刻工藝及材料的光學特性高度匹配,是進行圖案輪廓測量和缺陷識別的黃金波段。
同時,它也提供313nm、334nm、365nm、405nm、436nm等汞燈特征譜線,完整覆蓋了從深紫外到可見光藍紫端的常見檢測需求。
波長選擇精準高效:其核心在于可搭載多達8個獨立濾光片的快速切換系統。檢測工程師可以像轉換鏡頭一樣,在預設的多個特征波長間瞬時切換。
例如,檢測顯示屏不同功能層時,可一鍵切換至適合激發其特定熒光或反射特性的波長,實現“一層一光",大幅提升缺陷辨識的針對性和效率。
光強與曝光控制精密:設備支持100%至5%的連續光強調節和高達99999.9秒的精確定時曝光。這意味著無論是需要對微弱信號進行長時間累積曝光的精密測量。
還是生產線上的高速瞬態檢測,REX-250都能提供穩定、可重復的照明條件,確保每一次檢測都在同一“光標準"下進行,數據可比性強。
在具體的應用場景中,這些技術優勢轉化為實實在在的檢測效能提升。
在顯示面板檢測中,REX-250的精準波長可用于評估OLED有機發光材料的純度與均勻性,檢測微型LED芯片的焊接缺陷,或量化液晶盒的取向排列質量。
其穩定的光輸出確保了批次間檢測結果的一致性,為工藝改進提供了可靠數據。
在半導體制造領域,除了前述的光刻檢測,它還可用于光掩模版的缺陷復查、硅片表面污染物的熒光檢測,以及各類薄膜厚度的光譜反射測量。
特別是其RS-232C外部控制接口,使其能夠無縫集成到自動化檢測設備或智能產線中,實現光源開關、波長切換、光強調節的全程程序化控制,滿足工業4.0時代的柔性生產和數據追溯需求。
對于研發與品控實驗室,REX-250更像是一個“基礎光學平臺"。其穩定性為建立企業內部的光學檢測標準方法提供了可能,無論是新材料的光學特性表征。
還是對標國際檢測規范,它都能提供值得信賴的光源保障。
REX-250作為一款工業與科研級設備,其設計充分考慮了連續、穩定運行的嚴苛要求。
它采用超高壓汞燈,雖然燈泡壽命約為1000小時(至初始照度的70%),但其采用了特殊的“免對準墨盒式"更換設計。維護人員無需復雜的光路調整,即可快速完成燈泡更換,大程度減少設備停機時間。
從成本效益看,相對于激光光源等替代方案,REX-250在提供關鍵波長高強度輸出的同時,保持了合理的購置與維護成本,是一種經受了市場驗證的高性價比工業解決方案。
它實現了高1端性能與實用可靠性的平衡,是注重長期穩定生產和數據可靠性的企業的理性選擇。